德國inficon高溫壓力計CDG160D |
點擊次數(shù):204 更新時間:2024-10-22 |
德國inficon高溫壓力計CDG160D
inficon高溫壓力計CDG160D功能簡介: INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 真空計溫度控制在 160 °C,具有的性能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICOCDG 壓力傳感器品質(zhì),成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。 inficon高溫壓力計CDG160D優(yōu)點 2 擁有成本更低,預熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗 2 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設(shè)定點 2 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調(diào)零點偏移 2 診斷端口便于快速服務與維護 2 兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命 2 越的信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準 2 合規(guī)和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS inficon高溫壓力計CDG160D典型應用 ü ECT、CTD、PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝 ü 化學和腐蝕性高溫過程 ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護
inficon高溫壓力計CDG160D規(guī)格 ? 準確性閱讀%:0.4 ? 精度%:0.003 ? 輸出信號(模擬)V (dc):0.. +10 ? 響應時間:30ms ? 暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L ) inficon高溫壓力計CDG160D產(chǎn)品料號 inficon高溫壓力計CDG160D外形尺寸: |